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通過高精度干法刻蝕技術現(xiàn)實了20μm寬度的氮化鉭電路。
引領世界宇宙空間開發(fā)的美國航空航天局,為了揭露行星的形成過程,每天都在對宇宙空間進行著觀測。這是一種利用從投放到平流層中的熱氣球上進行定點攝影,計算、測量和分析行星變化的技術。拍攝時,需要一種高靈敏度紅外線相機技術來撲捉那些從遙遠的宇宙中射來的微量光粒子。 為了滿足NASA能夠鮮明地對光粒子進行拍攝要求,TECDIA提供了高集成電路陶瓷基板技術(HCT)。
需求
采用前的狀態(tài)、問題
NASA一直在尋求超高傳導性電路基板。
解決方案
問題的解決策略
提供高精密20μm寬度氮化鉭電路基板
要點
決定采用的理由
高精度干法刻蝕技術。
結果
情況與效果
正在研發(fā)中。
需求采用前的狀態(tài)、問題

NASA一直在尋求超高傳導性電路基板。

NASA一直在尋求能夠清晰拍攝宇宙的超高傳導性能的電路基板。對于這種電路他們指定的材料是氮化鉭(TaN)。
然而,氮化鉭通常是當電阻膜來使用中,制成中容易出現(xiàn)斷線或降低電路的精度現(xiàn)象。因此在氮化鉭的應用中,如何保持一致性,高精度的電路,已成為了一個主要研發(fā)課題。

解決方案問題的解決策略

運用TECDIA的加工技術實現(xiàn)了寬度為20μm的氮化鉭電路基板。

TECDIA運用從創(chuàng)業(yè)初期至今積累的加工技術,提供了高集成電路陶瓷基板技術(HCT),為NASA提供了解決方案。
在可承受平流層的特殊環(huán)境而且耐用的氧化鋁基板上,我們運用氮化鉭實現(xiàn)了20μm寬度的高精密電路。 干法刻蝕技術來進行回路制作,干法刻蝕是非常高超的工藝制程,為了形成電路的厚度,也必須通過反復試驗來確保電路的精度。


20μm寬度的氮化鉭電路基板。
右上是NASA的LOGO,左下是TECDIA的LOGO。

要點決定采用的理由

運用刻蝕技術制造了高精度的電路基板。

運用TECDIA的加工技術,實現(xiàn)的寬為20μm薄而均勻的氮化鉭電路受到了高度評價。
此外,快速提供樣品和堅持不懈為客戶提供優(yōu)質且更完善方案的態(tài)度,成為TECDIA被采用的主要因素。

結果情況與效果

經(jīng)過了NASA非常嚴格的測試,TECDIA最終被決定采用?,F(xiàn)在,相機正在保護箱內進行著對平流層觀測的試驗階段。

客戶信息

 

美國、美國國家航空航天局(NASA)

 

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